Facebook
меню

Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология

Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология
  • 13.31
    -
    +

  • Срок доставки: до 22.04.2024
  • Доставка в
  • Служба доставки DPD
  • Доставка "Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология" по всему миру: США, Германия, Польша, Израиль, Англия и др.

  • Издательство: Наука
  • Язык: rus
  • Страна Россия
  • Год выпуска: 2018
  • Страниц: 138
  • Переплет: мягкая обложка
  • EAN: 9785020400894
Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11-32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.